Barco transportador de obleas de cuarzo

El soporte de cuarzo Semixlab es una herramienta de transporte de alto rendimiento diseñada para las industrias de semiconductores, fotovoltaica, LED y electrónica de precisión. Está fabricado con cuarzo sintético de alta pureza. Como consumibles principales en procesos de alta temperatura, los soportes de cuarzo se han convertido en el soporte ideal para obleas, obleas de silicio, sustratos de vidrio y otros componentes de precisión en procesos de difusión, recocido, oxidación, CVD (deposición química en fase de vapor), entre otros, gracias a su excelente estabilidad térmica, inercia química y larga vida útil, lo que ayuda a los clientes a lograr procesos de producción eficientes y estables.

Escenarios de aplicación o equipos: 

Procesos de difusión, recocido, oxidación y CVD (deposición química de vapor) de semiconductores.

Fuerza de la empresa

Semixlab Technology Co., Ltd. cuenta con dos centros de I+D, dos plantas de producción, 2 líneas de producción, más de 2 empleados y una inversión en I+D superior al 12 %. Nuestros productos se utilizan principalmente en las industrias de LED, circuitos integrados (CI), semiconductores de tercera generación, fotovoltaica y otras. Semixlab cuenta con sólidas capacidades de I+D, producción, pruebas y verificación integradas. Al mismo tiempo, mejoramos constantemente nuestra tecnología y equipos con una inversión anual de decenas de millones de dólares.

Servicios personalizados

Para satisfacer diversas necesidades, ofrecemos servicios de personalización flexibles y admitimos los siguientes ajustes de parámetros:

Especificaciones de tamaño: se adapta a diferentes sustratos, como 8 pulgadas y 12 pulgadas, o personaliza estructuras con formas especiales según los dibujos del cliente.

Tratamiento de superficie: chorro de arena opcional, recubrimiento (como recubrimiento de carburo de silicio) y otros procesos para mejorar la aplicabilidad en escenarios específicos.

Integración de accesorios: Se puede combinar con pilares de cuarzo, deflectores y otros componentes para formar un sistema de transporte completo.

Sistema de aseguramiento de la calidad

Prueba de materia prima: Arena de cuarzo de alta pureza importada, analizada por ICP-MS (espectrometría de masas de plasma acoplado inductivamente).

Control de proceso: mecanizado de precisión CNC + pruebas automatizadas, tolerancia de dimensión clave ≤±0.05 mm.

Embalaje limpio: Embalaje de ambiente ultra limpio clase 100 para evitar la contaminación durante el transporte.

Escenarios de aplicación típicos

Fabricación de semiconductores: se utiliza para procesos de recocido a alta temperatura, oxidación y deposición de película fina de obleas en hornos de difusión y hornos verticales.

Industria fotovoltaica: Transporte y transmisión de células PERC y TOPCon en PECVD, difusión de fósforo y otros procesos.

Epitaxia LED: posicionamiento preciso y crecimiento epitaxial a alta temperatura de sustratos de zafiro en equipos MOCVD.

Campo de investigación: Sinterización y ensayo de materiales en hornos de alta temperatura de laboratorio y entornos de vacío.

1. Excelente resistencia a altas temperaturas

El soporte de cuarzo para embarcaciones puede soportar entornos de alta temperatura, superiores a 1200 °C, durante un largo periodo de tiempo, con un coeficiente de expansión térmica extremadamente bajo (aproximadamente 5.5 × 10⁻⁷/℃). Mantiene la estabilidad estructural incluso en condiciones de enfriamiento y calentamiento rápidos, evitando grietas o deformaciones causadas por tensión térmica y garantizando la repetibilidad del proceso.

2. Pureza ultraalta e inercia química

Hecho de arena de cuarzo de alta pureza al 99.99% o más, sin precipitaciones, sin contaminación, evita eficazmente que los iones metálicos o las impurezas particuladas contaminen la superficie de la oblea a alta temperatura, especialmente adecuado para procesos avanzados con estrictos requisitos de limpieza (como la fabricación de chips por debajo de 7 nm).

3. Diseño estructural de precisión

La superficie del soporte del barco está pulida con alta precisión (rugosidad Ra≤0.2 μm), equipada con una estructura de ranura patentada, que puede soportar de manera estable sustratos de varios tamaños (como obleas de 8/12 de pulgada), lo que garantiza un calentamiento uniforme y circulación de gas y mejora la uniformidad del proceso.

4. Vida útil ultralarga

En comparación con los portadores de grafito o cerámica tradicionales, los materiales de cuarzo tienen una fuerte resistencia a la corrosión, una baja tasa de pérdida en atmósferas ácidas/alcalinas y un ciclo de uso continuo que puede alcanzar los 12 a 24 meses, lo que reduce significativamente los costos integrales para el cliente.