Piezas de silicio

Los componentes de silicio se utilizan principalmente porque coinciden con el material de la oblea. Esto, por sí solo, los hace útiles, ya que reduce la posibilidad de introducir diferencias no deseadas en el proceso. Son comunes en entornos de grabado y deposición. Su rendimiento suele ser estable, aunque su vida útil puede variar considerablemente según la intensidad del proceso.

Gracias a un mejor mecanizado y tratamiento superficial, estas piezas han mejorado con el tiempo. Aun así, no siempre se eligen por su durabilidad, sino más bien por su compatibilidad y la uniformidad del proceso.