Piezas de cuarzo

El cuarzo sigue presente en todas partes en el procesamiento de semiconductores. No es nuevo, pero es fiable, y la mayoría de las fábricas están familiarizadas con su comportamiento. Siempre que se controle su pureza, funciona bien en las etapas de difusión, oxidación y limpieza.

Muchas piezas de cuarzo se utilizan en sistemas de hornos o herramientas PECVD. La principal expectativa es la estabilidad, no necesariamente una larga vida útil, sino un rendimiento predecible. Esto suele ser suficiente para muchos procesos estándar.

Por supuesto, el cuarzo tiene sus limitaciones. Puede desgastarse más rápido en ciertas condiciones, especialmente en comparación con el SiC. Pero como es relativamente fácil de conseguir y no demasiado caro, todavía se usa bastante.