Cerámica de SiC

Las cerámicas de SiC se utilizan cada vez más en equipos para semiconductores, principalmente porque resisten mejor en condiciones más exigentes. Cuando la temperatura aumenta o el proceso se vuelve más agresivo, materiales como el cuarzo o el silicio pueden empezar a mostrar limitaciones, y es ahí donde entra en juego el SiC. En procesos de horno como la oxidación o la difusión, las piezas como las bandejas o paletas para obleas fabricadas con SiC tienden a durar más. Conservan su forma y no generan mucha contaminación, incluso después de largos ciclos de producción. Por este motivo, a menudo se opta por sustituir el cuarzo, sobre todo cuando el mantenimiento se vuelve demasiado frecuente.

Para el grabado, el SiC se suele elegir simplemente porque resiste mejor el plasma. La diferencia en la vida útil en comparación con las piezas de silicio es notable en muchos sistemas, aunque depende del proceso específico. También ayuda un poco con el control de partículas, que se vuelve más sensible a medida que los nodos se reducen. También se utiliza SiC como susceptor en MOCVD o CVD. En esos casos, no se trata tanto de "resistencia" sino de mantener la estabilidad de la temperatura. Además, se encuentra en componentes de la cámara, como revestimientos o cabezales de ducha, y a veces también en componentes de manipulación.