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Abrasivo de pulido CMP
Lodo de pulido CMP
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Lodo de pulido CMP

Abrasivo de pulido CMP


Lugar de origen: China
Marca: Semixlab
Número de modelo: SXL-1
Titulación: ISO14001, ISO45001, ISO9001
Cantidad mínima de pedido: Sujeto a negociación
Precio: Contáctenos para cotización personalizada
Detalles del empaque: paquete estándar de la exportación
Tiempo de entrega: 15-30 días después de la confirmación del pedido
Condiciones de pago: Maritimo
Capacidad de la fuente: 10 toneladas/mes
Descripción

El abrasivo de pulido CMP (planarización químico-mecánica) es un material clave en los campos de fabricación de semiconductores, vidrio óptico, circuitos integrados, etc., y logra un aplanamiento de la superficie a nivel nanométrico a través del efecto sinérgico de la corrosión química y el pulido mecánico.

Aplicación:

Los abrasivos de pulido CMP son materiales clave cruciales en el campo de la fabricación de circuitos integrados y se pueden usar en circuitos integrados ILD, obleas de silicio monocristalino de semiconductores, carburo de silicio de semiconductores, aislamiento de zanja poco profunda (STI) de circuitos integrados, polisilicio de circuitos integrados (Poly-Si), metales de circuitos integrados y capas de barrera metálicas.

Servicios que se pueden proporcionar:

Análisis de escenarios de aplicación del cliente, materiales compatibles, resolución de problemas técnicos.

Perfil de la compañía:

Semixlab cuenta con 2 laboratorios, un equipo de expertos con 20 años de experiencia en materiales, con capacidades de I+D y producción, pruebas y verificación.

Especificaciones

Indicadores de rendimiento para productos de la serie de pureza ultraalta

Parámetro SXL-1 SXL-2 SXL-3 SXL-4 SXL-5 SXL-6 SXL-7
Tamaño medio de partículas de sílice/nm 35±5 45±5 65±5 75±5 85±5 100±5 120±5
Distribución del tamaño de las nanopartículas (PDI) <0.15 <0.15 <0.15 <0.15 <0.15 <0.15 <0.15
pH de la solución 7.2-7.4 7.2-7.4 7.2-7.4 7.2-7.4 7.2-7.4 7.2-7.4 7.2-7.4
Contenido sólido/% 20.5±0.5 20.5±0.5 20.5±0.5 20.5±0.5 20.5±0.5 20.5±0.5 20.5±0.5
Apariencia Azul celeste Azul Blanco Blanquecino Blanquecino Blanquecino Blanquecino
Morfología de partículas X X:S- esférica;B- curva;P- en forma de cacahuete;T- bulbosa;C- en forma de cadena (estado agregado)
Iones estabilizadores Aminas orgánicas/inorgánicas
Composición de la materia prima Y Y:M-TMOS;E-TEOS;ME-TMOS+TEOS;EM-TEOS+TMOS
Contenido de impurezas metálicas ≤300 ppb
Aplicaciones

Campos de aplicación principales

Dirección de aplicación Escenario típico
Fabricación de semiconductores Chips de circuitos integrados (CI) y materiales semiconductores de tercera generación
Óptica y tecnología de visualización Vidrio óptico, lente y panel de visualización
Almacenamiento Platos de disco duro y memoria flash NAND 3D
Embalaje avanzado Empaquetado a nivel de oblea (WLP), TSV (a través de silicio)
Otras aplicaciones de alta gama MEMS (sistemas microelectromecánicos) e implantes médicos

Aval de verificación de la cadena ecológica

Los abrasivos de pulido Semixlab CMP cumplen con la certificación de la industria de semiconductores y han pasado la certificación ISO 14001/45001/9001.

Proceso de solicitud típico

Materia prima → Síntesis abrasiva (modificación de la superficie) → Formulación de lodos (filtración/ajuste de pH) → Pulido CMP (control de EPD) → Postlimpieza → Inspección (AFM/KLA) → Optimización de la retroalimentación de datos

Gracias a la optimización de los parámetros del proceso, el abrasivo de pulido Semixlab CMP ha logrado avances revolucionarios en el campo de los circuitos integrados de semiconductores nacionales de alta gama, sustituyendo gradualmente las importaciones en el mercado de semiconductores y aplicándose con éxito en la producción y fabricación de pantallas LCD, OLED y otras. Si necesita obtener documentación técnica detallada o solicitar una prueba de muestra, póngase en contacto con nuestro equipo de soporte técnico.

Ventaja Competitiva

Ventajas del núcleo abrasivo de pulido Semixlab CMP

a.Diámetro de partículas y grado de agregación de partículas libremente ajustables;

b.Partículas monodispersas con distribución uniforme del tamaño de partícula;

c.Sistema de dispersión estable;

d.Capacidad de producción a gran escala con una variación mínima de lote a lote;

e.Altamente estable, resistente a la aglomeración y sedimentación.

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