Fabricante de susceptores de grafito recubiertos de SiC CVD para MOCVD y epitaxia

Descripción general del producto

In epitaxial growth, the susceptor has a direct influence on how uniformly wafers heat up and how consistent the growth environment stays across a run. Semixlab's CVD SiC coated susceptors are made from dense graphite and coated with our SiC process. What do they bring?

● Buena conducción térmica

● Perfiles de temperatura uniformes en toda la oblea

● Sólida resistencia a los productos químicos de proceso.

● Low particle shedding

● Mayor vida útil de las piezas en zonas calientes

The CVD coating forms a dense SiC skin that protects the graphite from aggressive gases and boosts the component's overall robustness.

Características principales

High Purity Graphite Substrate

We use graphite grades that give you:

● Low impurity counts

● Respuesta mecánica predecible

● Conducción térmica suficiente

● Buena tolerancia al choque térmico

This graphite holds up well during fast heat-up and cool-down cycles.

Recubrimiento uniforme de SiC mediante CVD

The SiC layer provides:

● High surface hardness

● Buena protección contra la oxidación

● Mayor resistencia a la corrosión

● Menor riesgo de contaminación

Coating thickness and surface finish can be varied to suit your particular process.

Excelente uniformidad térmica

Para la epitaxia, es fundamental obtener un campo térmico estable. La combinación de la conductividad del grafito y las propiedades superficiales del SiC contribuye a lograr lo siguiente:

● Temperaturas uniformes de las obleas

● More stable processing

● Mayor repetibilidad de una ejecución a otra

Estabilidad a alta temperatura

Estos susceptores están diseñados para soportar condiciones extremas en el sector de los semiconductores:

● High operating temperatures

● Ciclos térmicos frecuentes

● Estabilidad sostenida del proceso durante largos períodos

¿Por qué elegir Semixlab?

Tecnología avanzada de recubrimiento CVD

Tenemos experiencia práctica con materiales a base de carbono y recubrimientos CVD, y podemos adaptar componentes de grafito recubiertos de SiC a su aplicación específica de semiconductores.

Capacidad de fabricación a medida

Nos encargamos de:

● Prototipos

● Tiradas cortas

● Volume production

● Tamaños y diseños personalizados

Control de calidad

Every part gets checked for:

● Precisión dimensional

● Estado de la superficie

● Uniformidad del recubrimiento

● Fiabilidad del proceso